Die Semiconductor Industry Association (SIA) repräsentiert 90 Prozent der Halbleiter-Produkte in den Vereinigten Staaten produziert . Die Multi- Milliarden-Dollar- Halbleiterindustrie verkauft Millionen von winzigen Computerchips , die mit Plasma- Elektroden erzeugt werden. Arten von Plasma- Elektroden sind: Induktion gekoppelten , Mikrowellen oder Radiowellen -Elektroden. Plasma -Elektroden an der Unterseite des Ofens Wellen erreichen Temperaturen über 6.000 Grad Celsius . Plasma Elektroden verdampfen Metall, dem Kupfer beschichtet oder Silikon Halbleiter bilden . Electrical Discharge Plasma Elektroden
Plasma Elektroden lassen elektrischer Strom durch eine Substanz, die elektrisch nicht leitend ist . Air isoliert . Es spielt keine Elektrizität leiten , aber ein mehrere tausend Volt elektrischen Feldes durch normalerweise isolierende Luft geleitet , erzeugt Stickstoff, Sauerstoff und andere gasförmige Ionen. Die Plasma- Elektrode bewirkt negativ geladenen Elektronen zum Abbruch der Stickstoff-oder Sauerstoffatome und lässt die positiv geladene Ionen . Die Ionen und Elektronen (Plasma) bewegen separat durch die Hochspannung Erzeugen eines elektrischen Stroms. Plasma elektrischen Strom leitet .
Vaccuum Arc Plasma Elektroden
Vacuum arc elektrische Entladungen verwenden Plasmabeschichtungen in Metallurgie und als Plasma- Filme . Die Vakuum- Lichtbogen sind aus Doppelbestimmungen Hochspannungselektroden in einer Vakuumkammer . Der elektrische Lichtbogen trägt das ionisiertes Plasma und leitet den magnetischen Bogen zu beschichten ein Mikrochip Oberfläche . Der Bogen kann mit einem Magnetfeld ausgerichtet werden . Coating Mikrochips mit einer geladenen Plasma-Lichtbogen ist ein Prozess namens " Vakuum-Lichtbogen- Abscheidung . " Flüssige Metall fällt Spray von den Elektroden aufweist, die von der Qualität der dünnen Plasmabeschichtung ablenken. Die uneinheitliche Tröpfchen aus der Plasmastrahl durch Behinderung der Strömung der Plasmabogen zwischen der Elektrode und der Halbleiteroberfläche entfernt . Dieser Vorgang wird als " gefiltert Vakuum-Lichtbogen- Abscheidung . "
Corona und Glow Discharge Elektroden
Corona elektrische Entladung eine teilweise inhomogenen elektrischen Entladung ist . Corona elektrische Entladung durch eine Hochspannung elektrische Feld in der Nähe eines starken Elektrode angelegt. Corona ist ein niedriger Strom -, Hochspannungs- Entladung. Glimmentladungen sind mehrere hundert Volt und 1 Ampere Strom. Die geringe ionisierten Strom in Kollision mit anderen Partikeln verstärkt. Die Verstärkung schafft sekundären Elektronen . Elektrische Entladungen sind auch durch Mikrowellen oder Laser- Wellen mit oder ohne Elektroden angelegt.
Kapazitiv gekoppelten Plasma ( CCP ) Elektroden
kapazitiv gekoppelten Plasma ( CCP) Elektrode ist eigentlich zwei Plasma- Elektroden mit geringem Abstand zwischen ihnen in einem Reaktor . Druck von Gas in dem Reaktor geringer ist als der Druck der Atmosphäre. Ein CCP Elektrode leitet Radiowellen , in der Regel bei 13,56 MHz . Eine Plasma -Elektrode mit der elektrischen Energie verbunden , und das andere ist die Masseelektrode . Die CCP Elektroden parallel angebracht und Plasma auf diese Weise gebildet ist kapazitiv gekoppelten Plasma . Kapazitiv gekoppelten Plasma manchmal Licht erzeugt , während ein Plasma mit einem Kondensator . Elektronen bombardiert eine Elektrode schnell negativ geladen , und sie erzeugen sekundären Plasmastrom zusätzlich zu dem Wechselstrom. Ein Gleichstrom Elektrode Elektronen angeregt und Gebühren Ionen. Diese Mikroverfahrenstechnik hinterlegt eine dünne Plasma Film auf einer Elektrode . Halbleiter von CCP kann geätzt werden.
